国产光刻机,突破封锁,迈向科技自立的新征程,国产光刻机,突破封锁,开启科技自立新征程的里程碑。
近年来,中国在光刻机领域取得了重大突破。经过多年的研发和努力,“上海微电子”等企业成功研制出90纳米精度的国产首台套高端G系列干式曝光样机和13.5纳米的浸没/双工件台式扫描曝系统(TWS),标志着我国正式迈入科技自...
近年来,中国在光刻机领域取得了重大突破。经过多年的研发和努力,“上海微电子”等企业成功研制出90纳米精度的国产首台套高端G系列干式曝光样机和13.5纳米的浸没/双工件台式扫描曝系统(TWS),标志着我国正式迈入科技自...